电子行业中空气过滤器的应用及要求
大家对于air filter在各大行业都有的运用,那么今天我们主要给大家介绍关于空气过滤器在电子行业的应用,希望通过我们的介绍,可以给大家带来一定的帮助。
电脑里每天进入无数灰尘,但遗憾的是电脑没有安装过滤器,今后电脑里也安装过滤器就好了。粘在集成电路上的灰尘可能会导致断路和短路,灰尘直接影响寿命压缩机附件产品的成品率。今天,半导体工业(芯片厂)对生产环境的空气清洁度高,对空气过滤器的要求也很严格。
测量芯片整合度的指标之一是线宽,即电路上的线宽。在微米计算线宽的时代,制造环境对粉尘粒径的限制小于线宽的1/10,随着线宽的减小,1/10的说法变成了1/4、1/2。2002年,普通微机中P4处理器的线宽缩小到0.13mm,此时任何粉尘都可能损坏电路,粒径与线宽的传统对比已经过时。
无论是普通的高效过滤器还是FFU,在发货前都要经过扫描测试。国内目前没有扫描测试方法标准,能挤进芯片厂的过滤器制造商按欧美标准扫描过滤器测试。芯片厂的人认为,过滤器传统检测方法用的试验粉尘本身就是污染源,所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的账。
芯片厂传统的通风形式是大循环,工厂的天花板整体充满了高效的过滤器,整个地板都是回气栅板。目前,芯片工厂的一些工厂使用带风扇的过滤装置,即FFU。大循环和FFU两种形式都可以达到足够的清洁度,但在运行管理和能源消耗方面有所不同。
20世纪90年代初,国外对高效过滤器玻璃纤维过滤器含硼的问题发生了争吵,之后过滤器的微量挥发要素成为芯片工厂的关注。近年来,聚四氟乙烯纤维的高效过滤材料出现在国外。这种材料没有挥发物,但它是一种带静电的驻极体,隐患减少,麻烦增加。过滤后的空气应通过电中和控制空气中的离子体。目前,该材料价格较高,大多数过滤器仍使用玻璃纤维过滤纸。过滤器可能的微量挥发要素主要来源于粘合剂和洗涤剂,为芯片制造商提供的过滤器制造商必须在这方面下功夫。
空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌,但空气中的海盐粉尘粒子大,通过过过滤器可以过滤。据说从事电子工业的理想场所应该远离海岸,但是沿海地区经济发达,芯片工厂像蜂一样建在沿海地区,在过滤器上花更多的钱。
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