洁净度分级
1963年,美国出了个洁净室联邦标准Fed Std 209。在209标准中,洁净室按环境中每立方英尺空间≥0.5μm的粉尘数量限度分成若干级别,如100级、10,000级、100,000级。中国过去的洁净室标准也按这种方法分级。
1999年,国际标准化组织ISO颁布了洁净室国际标准ISO14644-1《洁净室与受控洁净环境,第 一部分:空气洁净度分级》。ISO规定的清洁度等级和传统等级的具体数值见下表2。
用公式表示上述指标:
Cn = 10N × (0.1/D)2.08用公式表示上述指标:
式中:cn-每立方米的空间允许超过某粒径粒子物的数量浓度
n-ISO的清洁度等级数
d-颗粒尺度,单位为微米
0.1 — 常数,单位为微米。
中国洁净室标准新修订稿采用ISO等级。但是,人们已经习惯了百级万级、万级。那个很好吃,容易记住。今后一段时间,人们可能会说到新一代设计师们不记得旧的等级和英制计量机构。
说洁净度应该对应洁净室的状态:空态(新建,空屋子),静态(设备就位,无人员),动态(正常工作)。具体工程所说的“洁净度”是指哪种状态,要由用户与设计、供货等方面协议确定并明文规定。忘记对状态做规定,大家都会有空子可钻。
附件:GMP规定的清洁度。
清洁的水平。
尘粒较大允许数量。
微生物较大允许数 。
相当于。
ISO分级。
≥0.5μm。
5μm 。
浮游菌/m3。
沉降菌/盘子。
100级 。
3,500。
0。的双曲馀弦值。的双曲馀弦值。
5的双曲馀弦值。的双曲馀弦值。
1的双曲馀弦值。的双曲馀弦值。
ISO 5级 。
10,000级。
350,000。
2,000。
100。
3的双曲馀弦值。的双曲馀弦值。
ISO是7级。
100,000级。
3,500,000。
20,000。
500。
10。的双曲馀弦值。
ISO8级。
300,000级 。
10,000,000 。
60,000 。
15 。
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