无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍
无尘室又称洁净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个无尘室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用较大颗粒大小来厘定的。别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是无尘室中的灰尘。
无尘的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。无尘室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。
无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍
美国标准:
级别 | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm |
1 | 35 | 7 | 3 | 1 |  ; |  ; |
10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 1 |  ; |
100 | 3500 | 750 | 300 | 100 | 10 | 1 |
1,000 |  ; |  ; |  ; | 1,000 | 100 | 7 |
10,000 |  ; |  ; |  ; | 10,000 | 1,000 | 100 |
100,000 |  ; |  ; |  ; | 100,000 | 10,000 | 1,000 |
ISO 14644-1标准:
级别 | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm |
ISO 1 | 10 | 2 |  ; |  ; |  ; |  ; |
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |  ; |  ; |
ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 |  ; |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 |  ; |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO 7 |  ; |  ; |  ; | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
ISO 8 |  ; |  ; |  ; | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
ISO 9 |  ; |  ; |  ; | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
无尘室标准比较表:
ISO 14644-1 | 美国每立方呎颗粒数 |
ISO 3 | 1 |
ISO 4 | 10 |
ISO 5 | 100 |
ISO 6 | 1,000 |
ISO 7 | 10,000 |
ISO 8 | 100,000 |